Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6368
Title: Формирование глубоких (сквозных) отверстий в Si-подложках для объемных микросборок ИС
Authors: Мацкевич, А. И.
Keywords: авторефераты диссертаций;пористый кремний;конденсаторных структуры
Issue Date: 2016
Publisher: БГУИР
Citation: Мацкевич, А. И. Формирование глубоких (сквозных) отверстий в Si-подложках для объемных микросборок ИС : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 01 / А. И. Мацкевич ; науч. рук. С. К. Лазарук. – Минск : БГУИР, 2016 . – 6 с.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6368
Appears in Collections:1-41 80 01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Автореферат.pdf434.19 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.