Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6368
| Title: | Формирование глубоких (сквозных) отверстий в Si-подложках для объемных микросборок ИС |
| Authors: | Мацкевич, А. И. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;пористый кремний;конденсаторных структуры |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Мацкевич, А. И. Формирование глубоких (сквозных) отверстий в Si-подложках для объемных микросборок ИС : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 01 / А. И. Мацкевич ; науч. рук. С. К. Лазарук. – Минск : БГУИР, 2016 . – 6 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6368 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 01 Микро- и наноэлектроника
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
