Issue Date | Title | Author(s) |
2017 | Depth Measurement of Nanoscale Damage to the Surface of Silicon Wafers in the Production of Submicron Integrated Microcircuits by Auger Spectroscopy Method | Solodukha, V. A.; Shvedov, S. V.; Chyhir, R. R.; Petlitsky, A. N. |
2017 | Depth Measurement of the Nano-dimensional Surface Damages of the Silicon Wafers in Production of the Submicron Integrated Circuits | Solodukha, V. A.; Shvedov, S. V.; Chyhir, R. R.; Petlitsky, A. N.; Petlitskaya, T. V. |
2017 | Optical interconnects between silicon chips based on light-emitting diodes on nanostructured silicon | Leshok, A. A.; Dolbik, A. V.; Le Dinh Viа; Matskevichа, A. I.; Vysotskii, V. B.; Shvedov, S. V. |
2017 | Reliability Assessment of the Nano-dimensional Dielectrics of the Submicron Microcircuits | Solodukha, V. A.; Shvedov, S. V.; Chyhir, R. R.; Petlitsky, A. N.; Filipenya, V. A. |
2007 | Влияние гамма-излучения на параметры различных транзисторных МОП-структур — элементов интегральных микросхем | Коршунов, Ф. П.; Богатырев, Ю. В.; Белоус, А. И.; Шведов, С. В.; Ластовский, С. Б.; Кульгачев, В. И.; Korshunov, F. P.; Bogatyrev, Y. V.; Belous, A. I.; Shvedov, S. V.; Lastovsky, S. B.; Kulgachev, V. I. |
2007 | Получение и физические свойства Cu(In,Ga)(S,Se)2 пленок для фотопреобразователей многокристальных модулей | Тиванов, М. С.; Зарецкая, Е. П.; Иванов, В. А.; Гременок, В. Ф.; Залесский, В. Б.; Романов, П. И.; Дроздов, Н. А.; Федотов, А. К.; Белоус, А. И.; Шведов, С. В.; Tivanov, M. S.; Zaretskaya, E. P.; Ivanov, V. A.; Gremenok, V. F.; Zalesski, V. B.; Romanov, P. I.; Drozdov, N. A.; Fedotov, A. K.; Belous, A. I.; Shvedov, S. V. |
2009 | Схемотехнические методы повышения радиационной стойкости КМОП БИС | Шведов, С. В.; Shvedov, S. V. |