https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11306| Title: | Исследование механических свойств элементов МЭМС на основе анодного оксида алюминия |
| Other Titles: | Research on mechanical properties of MEMS components based on anodic alumina |
| Authors: | Биран, С. А. Короткевич, Д. А. Короткевич, А. В. |
| Keywords: | доклады БГУИР;анодный оксид алюминия;наноструктурированные материалы;модуль Юнга;anodic aluminum oxide;nanostructured materials;Young's modulu |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Биран, С. А. Исследование механических свойств элементов МЭМС на основе анодного оксида алюминия / С. А. Биран, Д. А. Короткевич, А. В. Короткевич // Доклады БГУИР. - 2016. - № 7 (101). - С. 380-382 |
| Abstract: | В микроэлектромеханических системах (МЭМС) в настоящее время перспективным является использование наноструктурированных материалов. Одним из таких материалов является анодный оксид алюминия, который своими электрическими и механическими свойствами не уступает другим материалам, которые в настоящее время используются при производстве МЭМС-устройств. В данной статье приведены результаты по разработке методики и проведению измерения модуля Юнга свободных оксидных пленок алюминия. |
| Alternative abstract: | Today, using of nanostructured materials in microelectromechanical systems (MEMS) is very perspective. One of such materials is anodic aluminum oxide that has electrical and mechanical properties not worse than other materials that are currently used in manufacturing of MEMS devices. This article presents the results of research in methodology and measurement of Young's modulus of free aluminum oxide films. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11306 |
| Appears in Collections: | №7 (101) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Biran_Issledovaniye.PDF | 620.62 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.