https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12454| Title: | Применение сквозного моделирования при проектировании систем магнетронного распыления |
| Authors: | Мельников, С. Н. Голосов, Д. А. Завадский, С. М. Окоджи, Д. Э. Рубан, Г. М. Котинго, Д. Д. |
| Keywords: | публикации ученых;магнетронное распыление;моделирование;электромагнитное поле;мишень;подложка;magnetron sputtering;simulation;electromagnetic field;target;substrate |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | ГГУ им.Ф.Скорины |
| Citation: | Применение сквозного моделирования при проектировании систем магнетронного распыления / С. Н. Мельников [и др.] // Проблемы взаимодействия излучения с веществом : материалы IV международной научной конференции, 9–11 ноября 2016 г. : в 2 ч. Ч. 2. – Гомель : ГГУ им.Ф.Скорины, 2016. – С. 245–250. |
| Abstract: | Разработаны методы компьютерного моделирования для проектирования систем и процессов магнетронного распыления, которые позволяют проводить сквозное моделирование систем магнетронного нанесения от этапа создания магнитной системы магнетрона до формирования покрытия на поверхности подложки. |
| Alternative abstract: | Methods of computer modeling are developed for design of systems and processes of magnetron dispersion which allow to carry out through modeling of systems of magnetron drawing from a stage of creation of magnetic system of the magnetron to formation of a covering on a substrate surface. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12454 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Melnikov_Primeneniye.PDF | 723.03 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.