| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Величко, О. И. | - |
| dc.contributor.author | Velichko, O. I. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-06-29T08:23:49Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-27T12:27:13Z | - |
| dc.date.available | 2017-06-29T08:23:49Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-27T12:27:13Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Величко О. И. Влияние заряженных кластеров на диффузию атомов примеси в кристаллах кремния / О. И. Величко // Инженерно-физический журнал ― 2017. ― ТОМ 90, № 3. ― С. 763 – 766. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/13469 | - |
| dc.description.abstract | Получено уравнение диффузии примесных атомов в кристаллах кремния, на основе которого может быть определено влияние заряженных кластеров в кристалле кремния на процесс переноса примеси. Показано, что характерной особенностью этого влияния является возникновение дополнительного потока примесных атомов, который может привести к сегрегации примеси. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Институт тепло- и массообмена имени А.В. Лыкова НАН Беларуси | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | диффузия | ru_RU |
| dc.subject | сегрегация | ru_RU |
| dc.subject | кластер | ru_RU |
| dc.subject | примесь | ru_RU |
| dc.subject | segregation | ru_RU |
| dc.subject | cluster | ru_RU |
| dc.subject | impurity | ru_RU |
| dc.title | Влияние заряженных кластеров на диффузию атомов примеси в кристаллах кремния | ru_RU |
| dc.title.alternative | Effect of Charged Clusters on the Diffusion of Impurity Atoms in Silicon Crystals | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| local.description.annotation | An equation of diffusion of impurity atoms in silicon crystals has been obtained, based on which the influence of charged clusters in a silicon crystal on the process of impurity transfer can be determined. It is shown that a characteristic feature of this effect is the appearance of an additional flux of impurity atoms, which is capable of leading to impurity segregation. | - |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
