Title: | Пористое анодирование алюминиевых пленок с использованием фотолитографической маски при высоких напряжениях формовки |
Other Titles: | Porous anodisation of aluminum films with photolitographic mask under high forming voltages |
Authors: | Лазарук, С. К. |
Keywords: | доклады БГУИР;электрохимическое анодирование;алюминий, пористый оксид алюминия;трубчатая структура оксида;джоулево тепло |
Issue Date: | 2013 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Лазарук, С. К. Пористое анодирование алюминиевых пленок с использованием фотолитографической маски при высоких напряжениях формовки = Porous anodisation of aluminum films with photolitographic mask under high forming voltages / С. К. Лазарук // Доклады БГУИР. – 2013. – № 3 (73). – С. 52–57. |
Abstract: | Предложен метод локального электрохимического анодирования алюминиевых пленок при высоких напряжениях формовки с отводом выделяемого джоулева тепла через алюминиевые дорожки, граничащие с формируемым пористым оксидом алюминия. Предложенный метод позволяет проводить процесс при рекордно высоких напряжениях формовки, что, в свою очередь, приводит к достижению новых результатов, таких как формирование трубчатой структуры оксида с широким диапазоном внешнего диаметра трубок от 50 до 400 нм, а также обеспечивает высокую анизотропию анодного процесса со степенью анизотропии до 0,8. Отмеченные выше результаты могут быть объяснены реализацией процесса при высокой напряженности электрического поля внутри барьерного слоя пористого оксида алюминия. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1484 |
Appears in Collections: | №3 (73)
|