Энергетические параметры процессов ионного азотирования на промышленном оборудовании

Abstract

Приведены результаты расчетов и экспериментальных исследований теплового баланса при проведении процесса плазменного азотирования. Выполнен анализ удельных затрат энергии, потребляемых оборудованием промышленного типа для вариантов одного, двух и трех теплозащитных экранов в рабочей камере установки. Наличие трех теплозащитных экранов снижает расход электроэнергии на стадии разогрева на 30–90% по сравнению с использованием двух или одного экрана. Выявлены взаимосвязи температуры, давления в камере и плотности тока, обеспечивающие существование разряда в виде аномального. Чем ниже рабочее давление, тем большую степень аномальности разряда можно обеспечить при одинаковой температуре садки.