Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1515
Title: Особенности электрохимического осаждения никеля в мезопористый кремний
Other Titles: Features of electrochemical depo- sition of nickel in mesoporous silicon
Authors: Долгий, А. Л.
Прищепа, С. Л.
Петрович, В. А.
Бондаренко, В. П.
Keywords: доклады БГУИР;электрохимическое анодирование кремния;электрохимическое осаждение никеля;пористый кремний;сканирующая электронная микроскопия
Issue Date: 2012
Publisher: БГУИР
Citation: Долгий, А. Л. Особенности электрохимического осаждения никеля в мезопористый кремний / А. Л. Долгий и другие // Доклады БГУИР. - 2012. - № 1 (63). - С. 76 - 82.
Abstract: Методом электрохимического анодирования в растворе фтористоводородной кислоты на поверхности монокристаллических кремниевых пластин сформированы слои мезопористого кремния. Электрохимическим методом в пористый кремний проведено осаждение никеля. Исследована зависимость поверхностного потенциала мезопористого кремния от времени осаждения никеля. Сканирующая электронная микроскопия использована для изучения структуры полученных образцов. Установлено, что на начальных стадиях осаждения в нижней части пористого слоя происходит формирование зерен никеля размерами до 30– 60 нм. В процессе осаждения размеры зерен увеличиваются до 40–70 нм и увеличивается их количество. При больших временах осаждения начинается рост зерен никеля на поверхности пластин, причем осаждаемый слой никеля достаточно плотен, а размеры зерен никеля в этом слое не превышают 10 нм. Показано, что, осуществляя контроль величины по- верхностного потенциала в процессе электрохимического осаждения, можно определить момент полного заполнения каналов пор никелем и начала роста сплошной пленки на по- верхности образца.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1515
Appears in Collections:№1 (63)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Dolgiy_Osobennosti.PDF6.95 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.