https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1527| Title: | Траекторное управление координатными системами субмикронного оборудования микроэлектроники |
| Other Titles: | Trajectory control of coordinate systems of submicron mi- croelectronics equipment |
| Authors: | Дайняк, И. В. Жарский, В. В. Карпович, С. Е. |
| Keywords: | доклады БГУИР;координатная система;система траекторного управления;прецизионное оборудование;микроэлектроника |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Дайняк, И. В. Траекторное управление координатными системами субмикронного оборудования микроэлектроники / И. В. Дайняк, В. В. Жарский, С. Е. Карпович // Доклады БГУИР. - 2013. - № 4 (74). - С. 38 - 42. |
| Abstract: | Проанализированы измерительные средства, используемые при формировании программируемых движений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроники. Предложена структура системы траекторного управления на основе подходов аппаратно- программного моделирования и верификации в режиме реального времени. Приведены результаты использования предложенной системы траекторного управления в координатных системах перемещений прецизионного оборудования. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1527 |
| Appears in Collections: | №4 (74) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Daynyak_Trayektornoye.PDF | 566.68 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.