https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1711| Title: | Установка комбинированного магнетронно-лазерного осаждения пленочных покрытий |
| Authors: | Бурмаков, А. П. Кулешов, В. Н. Прокопчик, К. Ю. |
| Keywords: | материалы конференций;магнетронное распыление;осаждение пленок |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Бурмаков, А. П. Установка комбинированного магнетронно-лазерного осаждения пленочных покрытий. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 164-165 |
| Abstract: | Рассматривается структура установки для формирования и исследования комбинированного плазменного потока, образованного магнетронным распылителем и одновременным частотно-импульсным лазерным воздействием на различные материалы в газах низкого давления. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1711 |
| ISBN: | 978-985-543-038-5 |
| Appears in Collections: | Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики» |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| установка.pdf | 340.79 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.