| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Строгова, Н. С. | - |
| dc.contributor.author | Строгова, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Ковалевский, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Борисевич, В. М. | - |
| dc.contributor.author | Плякин, Д. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-12-08T13:00:41Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-12T11:47:23Z | - |
| dc.date.available | 2014-12-08T13:00:41Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-12T11:47:23Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Условия образования нанокластеров при формировании наноструктурированных пленок поликристаллического кремния, легированного германием / Н. С. Строгова [и др.] // Доклады БГУИР. - 2011. - № 8 (62). - С. 65 - 71. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2061 | - |
| dc.description.abstract | Проведены исследования топографии поверхности, кристаллической структуры пленок,
поликристаллического кремния, легированного германием, полученных разложением смеси
моносилан – моногерман – водород. Изменение структуры Ge и SiGe-кластеров анализировалось на основании данных спектроскопии комбинационного рассеяния света. Также проанализированы зависимости роста пленок от полного давления в реакторе и парциального
давления моносилана. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | нанокластеры | ru_RU |
| dc.subject | формирование наноструктурированных пленок кремния | ru_RU |
| dc.subject | самоорганизация нанокластеров | ru_RU |
| dc.title | Условия образования нанокластеров при формировании наноструктурированных пленок поликристаллического кремния, легированного германием | ru_RU |
| dc.title.alternative | Conditions for the formation of nanoclusters during the preparation of nanostuctured films of polycrystalline silicon doped with germanium | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | №8 (62)
|
