https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25775| Title: | Особенности электрохимического анодного окисления композиций Al-V-Cu на кремниевых подложках |
| Authors: | Щадинская, Д. А. |
| Keywords: | материалы конференций;Al-V-Cu;электрохимическое анодное окисление;кремниевые подложки |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Щадинская, Д. А. Особенности электрохимического анодного окисления композиций Al-V-Cu на кремниевых подложках / Д. А. Щадинская // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : сборник материалов 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 2–6 мая 2017 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред .А. Л. Раднёнок. – Минск, 2017. – С. 89–90. |
| Abstract: | Разработана методика формирования проницаемых структур с металлическим подслоем, основанная на двухстадийном анодировании тонкоплёночной системы Al-V-Cu. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25775 |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2017) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Shchadinskaya_Osobennosti.PDF | 843.6 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.