Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25775
Title: Особенности электрохимического анодного окисления композиций Al-V-Cu на кремниевых подложках
Authors: Щадинская, Д. А.
Keywords: материалы конференций;Al-V-Cu;электрохимическое анодное окисление;кремниевые подложки
Issue Date: 2017
Publisher: БГУИР
Citation: Щадинская, Д. А. Особенности электрохимического анодного окисления композиций Al-V-Cu на кремниевых подложках / Д. А. Щадинская // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : сборник материалов 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 2–6 мая 2017 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2017. – С. 89–90.
Abstract: Разработана методика формирования проницаемых структур с металлическим подслоем, основанная на двухстадийном анодировании тонкоплёночной системы Al-V-Cu.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25775
Appears in Collections:Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2017)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Shchadinskaya_Osobennosti.PDF843.6 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.