| Title: | Плазменный технологический модуль для нетермической активации вакуумно-плазменных процессов на базе разряда с эффектом полого катода |
| Authors: | Юник, А. Д. |
| Keywords: | материалы конференций;плазменные технологические модули;нетермическая активация;вакуумно-плазменные процессы;полые катоды |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Юник, А. Д. Плазменный технологический модуль для нетермической активации вакуумно-плазменных процессов на базе разряда с эффектом полого катода / А. Д. Юник // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : сборник материалов 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 2–6 мая 2017 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2017. – С. 98–100. |
| Abstract: | В настоящее время большой интерес представляет область вакуумной ионно-плазменной обработки материалов.
Это связано с тем, что применение методов ионно-плазменной обработки характеризуется большими технологическими
возможностями по изменению физико-химических и механических свойств поверхностей деталей и заготовок из
токопроводящих и диэлектрических материалов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25787 |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2017)
|
