Разработать конструкции, изготовить и исследовать микроэлектромеханические резонаторы и оптические волноводы на основе КНИ-структур для интегральных микроэлектронных устройств : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26563

Title:	Разработать конструкции, изготовить и исследовать микроэлектромеханические резонаторы и оптические волноводы на основе КНИ-структур для интегральных микроэлектронных устройств : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Бондаренко, В. П. Редько, С. В. Долгий, Л. Н. Долгий, А. Л. Абрамов, К. И. Долгий, А. Л.
Keywords:	отчеты о НИР;резонаторы емкостного типа;интегральные волноводы
Issue Date:	2016
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработать конструкции, изготовить и исследовать микроэлектромеханические резонаторы и оптические волноводы на основе КНИ-структур для интегральных микроэлектронных устройств (заключительный) : отчет о НИР / БГУИР; научный руководитель В. П. Бондаренко; отв. исполнитель С. В. Редько. – Минск, 2016. – 51 с. - № ГР 20142654
Series/Report no.:	ГБЦ № 14-3020;;
Gov't Doc #:	№ ГР 20142654
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26563
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2016

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20142654 (14-3020)_Рук_НИР_Бондаренко.pdf Restricted Access		4.37 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy