Разработать конструкцию и технологию изготовления компонент микроэлектромеханических систем (мэмс), использующих энергию горения наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26565

Title:	Разработать конструкцию и технологию изготовления компонент микроэлектромеханических систем (мэмс), использующих энергию горения наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Лазарук, С. К. Долбик, А. В. Ореховская, Т. И.
Keywords:	отчеты о НИР;электрохимическое анодирование
Issue Date:	2016
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработать конструкцию и технологию изготовления компонент микроэлектромеханических систем (мэмс), использующих энергию горения наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель С. К. Лазарук ; отв. исполнитель А. В. Долбик . – Минск , 2016. – 39 с. - № ГР 20142655
Series/Report no.:	ГБЦ № 14-3022;;
Gov't Doc #:	№ ГР 20142655
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26565
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2016

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20142655 (14-3022)_Рук_ НИР_Лазарук.pdf Restricted Access		1.59 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy