| Title: | Базовые технологические процессы интегральных схем : метод. указания и контр. задания по дисц. «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных интегральных схем, датчики и сенсорные устройства» (раздел «Базовые технологические процессы интегральных схем») для студ. спец. I-42 01 02 «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» заоч. и дист. форм обуч. |
| Authors: | Родионов, Ю. А. |
| Keywords: | учебно-методические пособия;кремниевые дискретные приборы;интегральные схемы |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Родионов, Ю. А. Базовые технологические процессы интегральных схем : метод. указания и контр. задания по дисц. «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных интегральных схем, датчики и сенсорные устройства» (раздел «Базовые технологические процессы интегральных схем») для студ. спец. I-42 01 02 «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» заоч. и дист. форм обуч. / сост. Ю. А. Родионов. – Минск : БГУИР, 2007. – 18 с. : ил. |
| Abstract: | В методических указаниях обобщены сведения по основным технологическим
процессам производства кремниевых дискретных приборов, интегральных схем и
МЭМС. Рабочая программа по данной дисциплине дополнена методическими
указаниями к ней, приводится перечень лабораторных работ и контрольные задания. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26612 |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
