https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26719| Title: | Статистический анализ и оптимизация технологических параметров изготовления интегральных микросхем: учебно-метод. пособие для курсов лекций и лабораторных работ по дисциплинам "Расчет и проектирование элементов ин тегральных схем и полупроводниковых приборов", "Основы САПР в микро электронике", "Моделирование технологических процессов микроэлектроники" для студентов специальности 41 01 02 "Микроэлектроника" |
| Authors: | Нелаев, В. В. Стемпицкий, В. Р. |
| Keywords: | учебно-методические пособия;статистический анализ;процессы микроэлектроники |
| Issue Date: | 2002 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Нелаев, В. В. Статистический анализ и оптимизация технологических параметров изготовления интегральных микросхем: учебно-метод. пособие для курсов лекций и лабораторных работ по дисциплинам "Расчет и проектирование элементов ин тегральных схем и полупроводниковых приборов", "Основы САПР в микро электронике", "Моделирование технологических процессов микроэлектроники" для студентов специальности 41 01 02 "Микроэлектроника" / В. В. Нелаев, B. Р. Стемпицкий. – Минск : БГУИР, 2002. – 40 с.: ил. |
| Abstract: | Приведено описание компьютерной учебной программы для многофакторного статистического проектирования технологии изготовления интегральных микросхем (ИМС) с учетом влияния флуктуации технологических параметров на характеристики проектируемой схемы, основанное на использовании метода поверхности откликов в процедуре аппроксимации результатов технологического процесса. Представлена соответствующая инструкция пользования программой. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26719 |
| ISBN: | 985-444-348-5 |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Nelaev_2002.pdf | 28.78 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.