Разработать технологию изготовления кремниевых кристаллов со сквозными отверстиями и диэлектрической пленкой на внутренней поверхности для 2,5 d TSV межсоединений : отчет о НИР (заключ.)

Лабунов, В. А.; Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Сасинович, Д. А.; Купреева, О. В.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Лабунов, В. А.	-
dc.contributor.author	Лазарук, С. К.	-
dc.contributor.author	Долбик, А. В.	-
dc.contributor.author	Сасинович, Д. А.	-
dc.contributor.author	Купреева, О. В.	-
dc.date.accessioned	2017-10-18T13:03:13Z	-
dc.date.available	2017-10-18T13:03:13Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	Разработать технологию изготовления кремниевых кристаллов со сквозными отверстиями и диэлектрической пленкой на внутренней поверхности для 2,5 d TSV межсоединений : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель В. А. Лабунов ; отв. исполнитель С. К. Лазарук . – Минск , 2016. – 49 с. - № ГР 20142656	ru_RU
dc.identifier.govdoc	№ ГР 20142656	-
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26815	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.relation.ispartofseries	ГБЦ 14-3016;;	-
dc.subject	отчеты о НИР	ru_RU
dc.subject	электрохимическое анодирование	ru_RU
dc.title	Разработать технологию изготовления кремниевых кристаллов со сквозными отверстиями и диэлектрической пленкой на внутренней поверхности для 2,5 d TSV межсоединений : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2016