Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26815
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЛабунов, В. А.-
dc.contributor.authorЛазарук, С. К.-
dc.contributor.authorДолбик, А. В.-
dc.contributor.authorСасинович, Д. А.-
dc.contributor.authorКупреева, О. В.-
dc.date.accessioned2017-10-18T13:03:13Z-
dc.date.available2017-10-18T13:03:13Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationРазработать технологию изготовления кремниевых кристаллов со сквозными отверстиями и диэлектрической пленкой на внутренней поверхности для 2,5 d TSV межсоединений : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель В. А. Лабунов ; отв. исполнитель С. К. Лазарук . – Минск , 2016. – 49 с. - № ГР 20142656ru_RU
dc.identifier.govdoc№ ГР 20142656-
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26815-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.relation.ispartofseriesГБЦ 14-3016;;-
dc.subjectотчеты о НИРru_RU
dc.subjectэлектрохимическое анодированиеru_RU
dc.titleРазработать технологию изготовления кремниевых кристаллов со сквозными отверстиями и диэлектрической пленкой на внутренней поверхности для 2,5 d TSV межсоединений : отчет о НИР (заключ.)ru_RU
dc.typeОтчеты о НИРru_RU
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2016

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20142656 (14-30160_Рук_ НИР_Лабунов.pdf
  Restricted Access
2.59 MBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.