Разработать технологию изготовления кремниевых кристаллов со сквозными отверстиями и диэлектрической пленкой на внутренней поверхности для 2,5 d TSV межсоединений : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26815

Title:	Разработать технологию изготовления кремниевых кристаллов со сквозными отверстиями и диэлектрической пленкой на внутренней поверхности для 2,5 d TSV межсоединений : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Лабунов, В. А. Лазарук, С. К. Долбик, А. В. Сасинович, Д. А. Купреева, О. В.
Keywords:	отчеты о НИР;электрохимическое анодирование
Issue Date:	2016
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработать технологию изготовления кремниевых кристаллов со сквозными отверстиями и диэлектрической пленкой на внутренней поверхности для 2,5 d TSV межсоединений : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель В. А. Лабунов ; отв. исполнитель С. К. Лазарук . – Минск , 2016. – 49 с. - № ГР 20142656
Series/Report no.:	ГБЦ 14-3016;;
Gov't Doc #:	№ ГР 20142656
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26815
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2016

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20142656 (14-30160_Рук_ НИР_Лабунов.pdf Restricted Access		2.59 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy