Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26815
Title: Разработать технологию изготовления кремниевых кристаллов со сквозными отверстиями и диэлектрической пленкой на внутренней поверхности для 2,5 d TSV межсоединений : отчет о НИР (заключ.)
Authors: Лабунов, В. А.
Лазарук, С. К.
Долбик, А. В.
Сасинович, Д. А.
Купреева, О. В.
Keywords: отчеты о НИР;электрохимическое анодирование
Issue Date: 2016
Publisher: БГУИР
Citation: Разработать технологию изготовления кремниевых кристаллов со сквозными отверстиями и диэлектрической пленкой на внутренней поверхности для 2,5 d TSV межсоединений : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель В. А. Лабунов ; отв. исполнитель С. К. Лазарук . – Минск , 2016. – 49 с. - № ГР 20142656
Series/Report no.: ГБЦ 14-3016;;
Gov't Doc #: № ГР 20142656
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26815
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2016

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20142656 (14-30160_Рук_ НИР_Лабунов.pdf
  Restricted Access
2.59 MBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.