Разработать технологию формирования наноструктурированного оксида титана для изготовления на его основе антиотражающих покрытий и планарных световодов оптических межсоединений на кремниевых чипах : отчет о НИР (заключ.)

Лазарук, С. К.; Мигас, Д. Б.; Купреева, О. В.; Сасинович, Д. А.; Циркунов, Д. А.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Лазарук, С. К.	-
dc.contributor.author	Мигас, Д. Б.	-
dc.contributor.author	Купреева, О. В.	-
dc.contributor.author	Сасинович, Д. А.	-
dc.contributor.author	Циркунов, Д. А.	-
dc.date.accessioned	2017-10-18T13:14:31Z	-
dc.date.available	2017-10-18T13:14:31Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	Разработать технологию формирования наноструктурированного оксида титана для изготовления на его основе антиотражающих покрытий и планарных световодов оптических межсоединений на кремниевых чипах : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель С. К. Лазарук ; отв. исполнитель Д. Б. Мигас . – Минск , 2016. – 67 с. - № ГР 20142667	ru_RU
dc.identifier.govdoc	№ ГР 20142667	-
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26820	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.relation.ispartofseries	ГБЦ 14-3070;;	-
dc.subject	отчеты о НИР	ru_RU
dc.subject	анодное окисление	ru_RU
dc.title	Разработать технологию формирования наноструктурированного оксида титана для изготовления на его основе антиотражающих покрытий и планарных световодов оптических межсоединений на кремниевых чипах : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2016