Разработать технологию формирования наноструктурированного оксида титана для изготовления на его основе антиотражающих покрытий и планарных световодов оптических межсоединений на кремниевых чипах : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26820

Title:	Разработать технологию формирования наноструктурированного оксида титана для изготовления на его основе антиотражающих покрытий и планарных световодов оптических межсоединений на кремниевых чипах : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Лазарук, С. К. Мигас, Д. Б. Купреева, О. В. Сасинович, Д. А. Циркунов, Д. А.
Keywords:	отчеты о НИР;анодное окисление
Issue Date:	2016
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработать технологию формирования наноструктурированного оксида титана для изготовления на его основе антиотражающих покрытий и планарных световодов оптических межсоединений на кремниевых чипах : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель С. К. Лазарук ; отв. исполнитель Д. Б. Мигас . – Минск , 2016. – 67 с. - № ГР 20142667
Series/Report no.:	ГБЦ 14-3070;;
Gov't Doc #:	№ ГР 20142667
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26820
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2016

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20142667 (14-3070)_Рук_НИР_Лазарук.pdf Restricted Access		4.84 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy