Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26820
Title: Разработать технологию формирования наноструктурированного оксида титана для изготовления на его основе антиотражающих покрытий и планарных световодов оптических межсоединений на кремниевых чипах : отчет о НИР (заключ.)
Authors: Лазарук, С. К.
Мигас, Д. Б.
Купреева, О. В.
Сасинович, Д. А.
Циркунов, Д. А.
Keywords: отчеты о НИР;анодное окисление
Issue Date: 2016
Publisher: БГУИР
Citation: Разработать технологию формирования наноструктурированного оксида титана для изготовления на его основе антиотражающих покрытий и планарных световодов оптических межсоединений на кремниевых чипах : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель С. К. Лазарук ; отв. исполнитель Д. Б. Мигас . – Минск , 2016. – 67 с. - № ГР 20142667
Series/Report no.: ГБЦ 14-3070;;
Gov't Doc #: № ГР 20142667
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26820
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2016

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20142667 (14-3070)_Рук_НИР_Лазарук.pdf
  Restricted Access
4.84 MBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.