https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27406| Title: | Проектирование и производство изделий электронной техники : пособие |
| Authors: | Достанко, А. П. Голосов, Д. А. Завадский, С. М. Соловьев, Я. А. Ковальчук, Н. С. Мельников, С. Н. Стасишина, А. М. Ермоленко, М. В. |
| Keywords: | учебно-методические пособия;электронная техника;распределение примесей |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Проектирование и производство изделий электронной техники : пособие / А. П. Достанко [и др.]. – Минск : БГУИР, 2017. – 80 с. : ил. |
| Abstract: | Включены материалы к девяти практическим работам, связанные с расчетом технологических режимов таких базовых операций, как диффузия, ионная имплантация и окисление, а также с методикой анализа и расчета характеристик тонкопленочных контактов типа металл – полупроводник. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27406 |
| ISBN: | 978-985-543-322-5 |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Dostanko_PR.pdf | 5.23 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.