Разработка научных основ и технологий ионно-плазменного формирования тонких пленок проводящих оксидов для использования в качестве электродов ячеек сегнетоэлектрических элементов памяти : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27564

Title:	Разработка научных основ и технологий ионно-плазменного формирования тонких пленок проводящих оксидов для использования в качестве электродов ячеек сегнетоэлектрических элементов памяти : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Голосов, Д. А. Завадский, С. М. Мельников, С. Н.
Keywords:	отчеты о НИР
Issue Date:	2016
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработка научных основ и технологий ионно-плазменного формирования тонких пленок проводящих оксидов для использования в качестве электродов ячеек сегнетоэлектрических элементов памяти : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель Д. А. Голосов; отв. исполнитель С. М. Завадский . – Минск , 2016. – 49 с. - № ГР 20142481
Series/Report no.:	ГБЦ № 14-3023;;
Gov't Doc #:	№ ГР 20142481
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27564
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2016

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20142481 (14-3023)_Рук_ НИР_Голосов1.pdf Restricted Access		2.31 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy