Разработать и освоить в производстве лазерную оптико-иммерсионную систему для формирования микро- и наноструктур : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27793

Title:	Разработать и освоить в производстве лазерную оптико-иммерсионную систему для формирования микро- и наноструктур : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Баранов, И. Л. Черных, А. Г. Зимин, А. Б. Тымощик, А. С. Чехута, А. К. Цуран, В. И. Богуш, А. Л.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработать и освоить в производстве лазерную оптико-иммерсионную систему для формирования микро- и наноструктур : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель И. Л. Баранов; отв. исполнитель А. Г. Черных . – Минск, 2014. – 65 с. - № ГР 20121088
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27793
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20121088 _(11-1114Б)_Рук_НИР_Баранов.pdf Restricted Access		2.98 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy