Разработка и исследование плазменных источников электронов для инициирования и поддержания разряда ионных источников, разработка процессов синтеза функциональных тонкопленочных покрытий прямым осаждением из высокоэнергетичных ионных потоков : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27812

Title:	Разработка и исследование плазменных источников электронов для инициирования и поддержания разряда ионных источников, разработка процессов синтеза функциональных тонкопленочных покрытий прямым осаждением из высокоэнергетичных ионных потоков : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Достанко, А. П. Завадский, С. М. Телеш, Е. В. Голосов, Д. А. Вашуров, А. Ю. Ковалева, А. П.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработка и исследование плазменных источников электронов для инициирования и поддержания разряда ионных источников, разработка процессов синтеза функциональных тонкопленочных покрытий прямым осаждением из высокоэнергетичных ионных потоков : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. П. Достанко ; отв. исполнитель С. М. Завадский. – Минск, 2014. – 76 с. - № ГР 20113904
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27812
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20113904 (11-3058)_Рук_НИР_Достанко.pdf Restricted Access		4.73 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy