Разработка материалов и процессов ионно-лучевого синтеза для формирования термостабильных токопроводящих систем интегральных схем : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27816

Title:	Разработка материалов и процессов ионно-лучевого синтеза для формирования термостабильных токопроводящих систем интегральных схем : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Достанко, А. П. Телеш, Е. В. Ковалева, А. П.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработка материалов и процессов ионно-лучевого синтеза для формирования термостабильных токопроводящих систем интегральных схем : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. П. .Достанко ; отв. исполнитель Е. В. Телеш . – Минск, 2014. – 72 с. - № ГР 20113897
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27816
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20113897 (11-3050)_Рук_НИР_Достанко.pdf Restricted Access		5.6 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy