Разработка методов ионно-плазменного нанесения композиционных тонкопленочных структур на основе стабилизированного оксида циркония для использования в качестве интегральных газочувствительных датчиков : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27818

Title:	Разработка методов ионно-плазменного нанесения композиционных тонкопленочных структур на основе стабилизированного оксида циркония для использования в качестве интегральных газочувствительных датчиков : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Достанко, А. П. Голосов, Д. А. Завадский, С. М.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработка методов ионно-плазменного нанесения композиционных тонкопленочных структур на основе стабилизированного оксида циркония для использования в качестве интегральных газочувствительных датчиков : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. П. Достанко; отв. исполнитель Д. А. Голосов . – Минск , 2014. – 69 с. - № ГР 20123092
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27818
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20123092 (12-3136)_Рук_НИР_Достанко.pdf Restricted Access		7.28 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy