Разработка научных основ и технологии формирования полимерных и металлических микроструктур с высоким аспектным соотношением для создания элементов и сенсоров микроэлектромеханических систем : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27829

Title:	Разработка научных основ и технологии формирования полимерных и металлических микроструктур с высоким аспектным соотношением для создания элементов и сенсоров микроэлектромеханических систем : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Тимошков, Ю. В. Курмашев, В. И. Сакова, А. А. Тимошков, В. Ю.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработка научных основ и технологии формирования полимерных и металлических микроструктур с высоким аспектным соотношением для создания элементов и сенсоров микроэлектромеханических систем : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель Ю. В. Тимошков ; отв. исполнитель В. И. Курмашев . – Минск , 2014. – 34 с. - № ГР 20122085
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27829
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20122085 (11-3070)_Рук_НИР_Тимошков.pdf Restricted Access		6.05 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy