Разработка процессов формирования микросхем для криогенных температур на основе наноструктурированных слоев оксидов вентильных металлов : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27847

Title:	Разработка процессов формирования микросхем для криогенных температур на основе наноструктурированных слоев оксидов вентильных металлов : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Короткевич, А. В. Биран, С. А. Чушкова, Д. И.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработка процессов формирования микросхем для криогенных температур на основе наноструктурированных слоев оксидов вентильных металлов : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. В. Короткевич ; отв. исполнитель С. А. Биран . – Минск, 2014. – 73 с. - № ГР 20120396
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27847
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20120396 (11-3040)_Рук_НИР_Короткевич.pdf Restricted Access		2.05 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy