Разработка физико-технологических основ формирования интегрированных плёночных систем на основе силицид- и оксидобразующих металлов и нитрида кремния для конку-рентоспособных изделий полупроводниковой электроники : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27866

Title:	Разработка физико-технологических основ формирования интегрированных плёночных систем на основе силицид- и оксидобразующих металлов и нитрида кремния для конку-рентоспособных изделий полупроводниковой электроники : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Баранов, В. В. Фоменко, Н. К. Россоловский, Е. Н. Снитовский, Ю. П.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработка физико-технологических основ формирования интегрированных плёночных систем на основе силицид- и оксидобразующих металлов и нитрида кремния для конку-рентоспособных изделий полупроводниковой электроники : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель В .В. Баранов ; отв. исполнитель В. В. Баранов. – Минск, 2014. – 62 с. - № ГР 20113871
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27866
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20113871 (11-3069)_Рук_НИР_Баранов.pdf Restricted Access		2.72 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy