Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27869
Title: Поляризация пленок танталата стронция-висмута при легировании ниобием
Authors: Голосов, Д. А.
Завадский, С. М.
Мельников, С. Н.
Колос, В. В.
Окоджи, Д. Э.
Тонконогов, Б. А.
Keywords: публикации ученых;танталат;поляризация;FeRAM;стронций-висмут
Issue Date: 2017
Publisher: Кабардино-Балкарский государственный университет имени Х. М. Бербекова, Россия
Citation: Поляризация пленок танталата стронция-висмута при легировании ниобием / Д. А. Голосов и другие // Микро- и нанотехнологии в электронике : материалы IX Международной научно-технической конференции. – Нальчик : КБУ, 2017. – C. 229 - 233.
Abstract: В последние годы наметился резкий рост исследований, направленных на разработку сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти с произвольным доступом (FeRAM). Ключевым этапом в технологии FeRAM является получение сегнетоэлектрических конденсаторных структур. В настоящее время в качестве наиболее вероятного сегнетоэлектрического материала для FeRAM рассматривается танталат стронция-висмута (SBT) с формулой SrBi2 Ta2O9. Отличительной особенностью SBT является хорошая выносливость против усталости (до 10-12 циклов переполяризации) и низкие токи утечки . Однако сравнительно низкая остаточная поляризация и высокая температура формирования сегнетоэлектрической фазы SBT (более 750 °C) создает большие проблемы при изготовлении FeRAM. Ранее проведенные исследования показали, что легирование ниобием SBT (SBTN) позволяет уменьшить температуру отжига, улучшить сегнетоэлектрические свойства и достигнуть более высоких значений остаточной поляризации и температуры Кюри по сравнению с SBT. В ряде статей приводятся результаты исследований диэлектрических и сегнетоэлектрических свойств пленок SBTN при определенной концентрации ниобия в мишени. При этом практически отсутствует информация о влиянии степени легирования ниобием на свойства пленок SBTN и оптимуму содержания ниобия. Поэтому в данной работе приведены результаты исследования влияния степени легирования ниобием на диэлектрические и поляризационные характеристики пленок SBTN.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27869
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Golosov_Polyarizaciya.PDF335.08 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.