Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27911
Title: Формирование пленок оксида циркония методом реактивного магнетронного распыления
Authors: Вилья, Н.
Голосов, Д. А.
Завадский, С. М.
Мельников, С. Н.
Окоджи, Д. Э.
Keywords: публикации ученых;оксид циркония;МДП полевые транзисторы;магнетронное распыление
Issue Date: 2017
Publisher: БГУ
Citation: Формирование пленок оксида циркония методом реактивного магнетронного распыления / Н. Вилья и др. // Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы 12-й Международной конференции (Минск, 19 - 22 сентября 2017 г.). – Минск: Изд. центр БГУ, 2017. – C. 438 – 440.
Abstract: Проведены исследования возможности использования аморфных пленок оксида циркония (ZrO2) в качестве high-k диэлектрика для МДП полевых транзисторов. Пленки оксида циркония наносились методом реактивного магнетронного распыления металлической мишени. Установлены зависимости диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь и ширины запрещенной зоны от содержания кислорода в Ar/O2 смеси газов в процессе нанесения пленок оксида циркония. Без нагрева подложек и последующего отжига получены пленки оксида циркония с диэлектрической проницаемостью ε = 9 – 14, тангенсом угла диэлектрических потерь tgφ = 0.05 – 0.09 на частоте 1.0 МГц и шириной оптической запрещенной зоны 5.67 – 5.87 эВ. Оптимум концентрации кислорода в процессе нанесения пленок составляет около 17 %. При данной концентрации кислорода пленки характеризуются сравнительно хорошим значением диэлектрической проницаемости, низким значением tgφ и большой шириной запрещенной зоны.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27911
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Vilia_Formirovaniye.pdf554.46 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.