Свойства поверхности тонких пленок сплава Al - 1.0 ат.% Cr, сформированных методом ионно-ассистированного осаждения

Abstract

Изучены особенности морфологии поверхности металлических пленок Al-1.0 ат. % Cr на стекле, сформированных при гиперскоростном затвердевании методом осаждения покрытий при ассистировании собственными ионами. Нанесение пленки Al-1.0 ат. % Cr в течение 3 ч приводит к увеличению шероховатости исходной стеклянной подложки (2.5 нм) в 3.5 раза. С увеличением времени нанесения покрытия с 3 до 9 ч шероховатость поверхности увеличивается от 8.9 до 21.6 нм. Получено, что исследуемые пленки Al- 1.0 ат. % Cr обладают гидрофильными свойствами.