https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28811| Title: | Влияние быстрой термообработки на оптические параметры кремния |
| Authors: | Солодуха, В. А. Пилипенко, В. А. Омельченко, А. А. Жигулин, Д. В. Петлицкая, Т. В. Соловьев, Я. А. |
| Keywords: | публикации ученых;коэффициент экстинкции;концентрация кислорода;толщина естественного оксида |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | «Политехпериодика» |
| Citation: | Влияние быстрой термообработки на оптические параметры кремния / В. А. Солодуха и др. // Современные информационные и электронные технологии: Международная научно-практическая конференция (Одесса, 22 — 26 мая 2017 г.). – Одесса: Политехпериодика. – С. 73 – 74. |
| Abstract: | Представлены результаты исследования влияния быстрой термической обработки на оптические характеристики поверхности кремниевых пластин, концентрацию кислорода в кремнии и распределение толщины естественного оксида по поверхности пластины. Показана возможность использования метода эллипсометрии для оценки совершенства приповерхностного слоя кремния по анализу его оптических характеристик. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28811 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Solodukha_Vliyaniye.pdf | 348.1 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.