Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28811
Title: Влияние быстрой термообработки на оптические параметры кремния
Authors: Солодуха, В. А.
Пилипенко, В. А.
Омельченко, А. А.
Жигулин, Д. В.
Петлицкая, Т. В.
Соловьев, Я. А.
Keywords: публикации ученых
коэффициент экстинкции
концентрация кислорода
толщина естественного оксида
Issue Date: 2017
Publisher: «Политехпериодика», Украина
Citation: Влияние быстрой термообработки на оптические параметры кремния / В. А. Солодуха и др. // Современные информационные и электронные технологии: Международная научно-практическая конференция (Одесса, 22 — 26 мая 2017 г.). – Одесса: Политехпериодика. – С. 73 – 74.
Abstract: Представлены результаты исследования влияния быстрой термической обработки на оптические характеристики поверхности кремниевых пластин, концентрацию кислорода в кремнии и распределение толщины естественного оксида по поверхности пластины. Показана возможность использования метода эллипсометрии для оценки совершенства приповерхностного слоя кремния по анализу его оптических характеристик.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28811
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Solodukha_Vliyaniye.pdf348.1 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.