Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29233
Title: Изготовление алюмооксидных подложек для микрополосковых СВЧ-структур методом сквозного двухстороннего анодирования
Authors: Шиманович, Д. Л.
Keywords: публикации ученых;электрохимическое анодирование;сквозное анодирование;пористый анодный оксид алюминия;биполярное анодирование;микрополосковые СВЧ-структуры
Issue Date: 2017
Publisher: Сибирский федеральный университет
Citation: Шиманович, Д. Л. Изготовление алюмооксидных подложек для микрополосковых СВЧ-структур методом сквозного двухстороннего анодирования / Д. Л. Шиманович // Современные проблемы радиоэлектроники : сборник научных трудов XX Всероссийской научно-технической конференции, Красноярск, 4-5 мая 2017 г. – Красноярск : Сибирский федеральный университет, 2017. – С. 480–483.
Abstract: Разработаны технологические способы формирования свободных Al2O3-пластин толщиной 100-400 мкм с использованием двухстороннего сквозного анодирования и последующего биполярного анодирования для применения их в качестве оснований для полосковых СВЧ-структур. Получены высокая формо- и трещиноустойчивость при высокотемпературных (> 500 оС) воздействиях, теплопроводность ~20-23 Вт/м•К, относительная диэлектрическая проницаемость ~7,2-7,4.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29233
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Shimanovich_Izgotovleniye.PDF593.3 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.