| Title: | Изготовление алюмооксидных подложек для микрополосковых СВЧ-структур методом сквозного двухстороннего анодирования |
| Authors: | Шиманович, Д. Л. |
| Keywords: | публикации ученых;электрохимическое анодирование;сквозное анодирование;пористый анодный оксид алюминия;биполярное анодирование;микрополосковые СВЧ-структуры |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Сибирский федеральный университет |
| Citation: | Шиманович, Д. Л. Изготовление алюмооксидных подложек для микрополосковых СВЧ-структур методом сквозного двухстороннего анодирования / Д. Л. Шиманович // Современные проблемы радиоэлектроники: сборник научных трудов XX Всероссийской научно-технической конференции (Красноярск, 4 - 5 мая 2017 г.). – Красноярск: Сибирский федеральный университет, 2017. – С. 480 – 483. |
| Abstract: | Разработаны технологические способы формирования свободных Al2O3-пластин толщиной 100-400 мкм с использованием двухстороннего сквозного анодирования и последующего биполярного анодирования для применения их в качестве оснований для полосковых СВЧ-структур. Получены высокая формо- и трещиноустойчивость при высокотемпературных (> 500 оС) воздействиях, теплопроводность ~20-23 Вт/м•К, относительная диэлектрическая проницаемость ~7,2-7,4. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29233 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
