https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29385| Title: | Металлизация отверстий при формировании трехмерных микроструктур |
| Authors: | Кушнер, Л. К. Степанова, Л. И. Кузьмар, И. И. Хмыль, А. А. |
| Keywords: | публикации ученых;электрохимическая металлизация TSV-отверстий;нестационарный электролиз |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | РФ |
| Citation: | Металлизация отверстий при формировании трехмерных микроструктур / Л. К. Кушнер и др. // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. – 2017. – Т. 17. – № 2. – С. 554 – 557. |
| Abstract: | Определены оптимальные составы растворов для химической и электрохимической металлизации TSV-отверстий и режимы осаждения в зависимости от размеров отверстий. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29385 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 7. Kushner_Metallizaciya.pdf | 1.68 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.