Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item:
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВоробьева, А. И.-
dc.contributor.authorСокол, В. А.-
dc.contributor.authorПаркун, В. М.-
dc.identifier.citationВоробьева, A. И. Локальное электрохимическое анодирование в технологии многоуровневых систем межсоединений / A. И. Воробьева, В. А. Сокол, В. М. Паркун // Доклады БГУИР. - 2003. - № 1. - С. 83 - 91.ru_RU
dc.description.abstractРассмотрен метод локального электрохимического анодирования, позволяющий уменьшить искажение размера тонкопленочных структур при переносе изображения до 10–15 %. Получены алюминиевые дорожки с квазианизотропным профилем, имеющие импеданс 50±5 Ω и степень планаризации 95 %.ru_RU
dc.subjectдоклады БГУИРru_RU
dc.subjectалюминиевая дорожкаru_RU
dc.titleЛокальное электрохимическое анодирование в технологии многоуровневых систем межсоединенийru_RU
dc.title.alternativeLocal electrochemical anodization for making multilevel interconnection systemsru_RU
local.description.annotationThe method of local electrochemical anodization, permitting to reduce the skew of the thin-film structures sizes during patterning up to 10–15 % is considered. The aluminium lines with quasianisotropic lateral profile having an impedance about 50±5 Ω and surface planarity extent of 95 % are Obtained.-
Appears in Collections:№1

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Vorobyeva_Lokalnoye.pdf395.48 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.