| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Воробьева, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Сокол, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Паркун, В. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-03-30T12:08:10Z | - |
| dc.date.available | 2018-03-30T12:08:10Z | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.citation | Воробьева, A. И. Локальное электрохимическое анодирование в технологии многоуровневых систем межсоединений / A. И. Воробьева, В. А. Сокол, В. М. Паркун // Доклады БГУИР. - 2003. - № 1. - С. 83 - 91. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30791 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрен метод локального электрохимического анодирования, позволяющий уменьшить
искажение размера тонкопленочных структур при переносе изображения до 10–15 %. Получены алюминиевые дорожки с квазианизотропным профилем, имеющие импеданс 50±5 Ω и степень планаризации 95 %. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | анодирование | ru_RU |
| dc.subject | алюминиевая дорожка | ru_RU |
| dc.subject | профиль | ru_RU |
| dc.subject | межсоединения | ru_RU |
| dc.title | Локальное электрохимическое анодирование в технологии многоуровневых систем межсоединений | ru_RU |
| dc.title.alternative | Local electrochemical anodization for making multilevel interconnection systems | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| local.description.annotation | The method of local electrochemical anodization, permitting to reduce the skew of the thin-film
structures sizes during patterning up to 10–15 % is considered. The aluminium lines with quasianisotropic lateral profile having an impedance about 50±5 Ω and surface planarity extent of 95 % are
Obtained. | - |
| Appears in Collections: | №1
|
