https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31021| Title: | Исследование физико- механического состояния поверхности кристаллического кремния маятниковым методом |
| Other Titles: | Researches of a physic mechanical state of a surface of crystal silicon |
| Authors: | Джилавдари, И. З. Емельянов, В. А. Пилипенко, В. А. Петлицкая, Т. В. |
| Keywords: | доклады БГУИР;состояние поверхности;физико-механические параметры;маятниковый метод исследования;трение качения |
| Issue Date: | 2006 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Исследование физико- механического состояния поверхности кристаллического кремния маятниковым методом / И. З. Джилавдари и другие // Доклады БГУИР. - 2006. - № 2 (14). - С. 109 - 112. |
| Abstract: | Предложен неразрушающий метод исследования физико-механических свойств поверхно- сти материалов, основанный на экспериментальном и теоретическом анализе характера за- тухания свободных колебаний физического маятника с опорой качения. Вводятся безраз- мерные параметры, описывающие состояние поверхности. Даются оценки состояния по- верхностей кремниевых пластин с ориентацией <100> и <111>. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31021 |
| Appears in Collections: | №2 (14) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Gilavdary_Researches.pdf | 546.13 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.