Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31029
Title: Механизм формирования монослойного наноструктурированного покрытия компрессионным плазменным потоком
Other Titles: Mechanism of formation of surface nanosrtuctured metal-based coating by compressing plasma flow
Authors: Квасов, Н. Т.
Данилюк, А. Л.
Пунько, А. В.
Углов, В. В.
Анищик, В. М.
Черенда, Н. Н.
Свешников, Ю. В.
Асташинский, В. М.
Ананин, С. И.
Костюкевич, Е. А.
Кузьмицкий, А. М.
Kvasov, N. T.
Danilyuk, A. L.
Punko, A. V.
Uglov, V. V.
Anishchik, V. M.
Cherenda, N. N.
Sveshnikov, Yu. V.
Astashynski, V. M.
Ananin, S. I.
Kostyukevich, E. A.
Kuzmitski, A. M.
Keywords: доклады БГУИР
наноструктурированное покрытие
кремний
плазма
компрессионный поток
Issue Date: 2006
Publisher: БГУИР
Citation: Механизм формирования монослойного наноструктурированного покрытия компрессионным плазменным потоком / Н. Т. Квасов и другие // Доклады БГУИР. - 2006. - № 2 (14). - С. 94 - 102.
Abstract: Предложена модель формирования на поверхности кремния наноструктурированного ме- таллического покрытия при воздействии импульса компрессионной плазмы. Получены оценки размера и заряда металлических частиц в плазме, рассчитаны параметры потенциала притяжения между заряженными частицами. Решено кинетическое уравнение, характери- зующее эволюцию параметра порядка при росте частиц металла. Показано, что в данных условиях в результате испарения и коагуляции образуются металлические кластеры размером порядка 30 нм, которые затем объединяются в частицы с размером до 300 нм и осаждаются на поверхность кремния из ударно-сжатого слоя, образуя монослой.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31029
Appears in Collections:№2 (14)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kvasov_Mechanism.pdf777,56 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.