https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31029| Title: | Механизм формирования монослойного наноструктурированного покрытия компрессионным плазменным потоком |
| Other Titles: | Mechanism of formation of surface nanosrtuctured metal-based coating by compressing plasma flow |
| Authors: | Квасов, Н. Т. Данилюк, А. Л. Пунько, А. В. Углов, В. В. Анищик, В. М. Черенда, Н. Н. Свешников, Ю. В. Асташинский, В. М. Ананин, С. И. Костюкевич, Е. А. Кузьмицкий, А. М. |
| Keywords: | доклады БГУИР;наноструктурированное покрытие;кремний;плазма;компрессионный поток |
| Issue Date: | 2006 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Механизм формирования монослойного наноструктурированного покрытия компрессионным плазменным потоком = Mechanism of formation of surface nanosrtuctured metal-based coating by compressing plasma flow / Н. Т. Квасов [и др.] // Доклады БГУИР. – 2006. – № 2 (14). – С. 94–102. |
| Abstract: | Предложена модель формирования на поверхности кремния наноструктурированного металлического покрытия при воздействии импульса компрессионной плазмы. Получены оценки размера и заряда металлических частиц в плазме, рассчитаны параметры потенциала притяжения между заряженными частицами. Решено кинетическое уравнение, характеризующее эволюцию параметра порядка при росте частиц металла. Показано, что в данных условиях в результате испарения и коагуляции образуются металлические кластеры размером порядка 30 нм, которые затем объединяются в частицы с размером до 300 нм и осаждаются на поверхность кремния из ударно-сжатого слоя, образуя монослой. |
| Alternative abstract: | The model of formation of nanosrtuctured metal-based coating on the silicon surface by influence of compression plasma impulse is proposed. Size and charge estimations of metal particles, their concentration and attraction potential parameters between charged particles were obtained. The equation for evolution of ordering parameter at metal particles growth was solved. The result of vaporization and coagulation at these conditions is formation of 30 nm metal clusters which later united in 300 nm particles and precipitate on silicon surface from impact-compressed layer. The result coating on silicon surface is monolayer. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31029 |
| Appears in Collections: | №2 (14) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kvasov_Mechanism.pdf | 777.56 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.