https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31218| Title: | Моделирование и численные исследования параметров магнетронных распылительных систем |
| Other Titles: | Simulation and numerical research parameters of magnetron sputtering systems |
| Authors: | Мельников, С. Н. Кундас, С. П. Свадковский, И. В. |
| Keywords: | доклады БГУИР;магнетрон;моделирование;коэффициенты несбалансированности |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Мельников, С. Н. Моделирование и численные исследования параметров магнетронных распылительных систем / С. Н. Мельников, С. П. Кундас, И. В. Свадковский // Доклады БГУИР. - 2007. - № 3 (19). - С. 80 - 87. |
| Abstract: | Представлены результаты моделирования нескольких типов магнетронных распылительных систем. Методом сравнительного анализа конфигураций магнитных полей определены параметры, которые могут служить критериями степени несбалансированности. |
| Alternative abstract: | Introduced results of simulation a few types magnetron sputtering systems. Сomparative analysis configuration of the magnetic field allow to determine parameters, that can be used for crite- rion of unbalance degree. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31218 |
| Appears in Collections: | №3 (19) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Melnikov_Simulation.pdf | 792.03 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.