Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31284
Title: Периодические структуры, сформированные на поверхности монокристаллического кремния при воздействии компрессионной плазмы
Other Titles: Periodic structures formed on the surface of silicon monocrystal treated with compression plasma flow
Authors: Квасов, Н. Т.
Шедко, Ю. Г.
Углов, В. В.
Асташинский, В. М.
Kvasov, N. T.
Shedko, Yu. G.
Uglov, V. V.
Astashynski, V. M.
Keywords: доклады БГУИР
периодические структуры
кремний
плазма
компрессионный поток
неустойчивость Кельвина–Гельмгольца
Issue Date: 2007
Publisher: БГУИР
Citation: Периодические структуры, сформированные на поверхности монокристаллического кремния при воздействии компрессионной плазмы / Н. Т. Квасов и др. // Доклады БГУИР. - 2007. - № 4 (20). - С. 101 - 107.
Abstract: Рассмотрено образование периодических структур под воздействием компрессионного плазменного потока на поверхности монокристаллической кремниевой пластины как результат зарождения и развития гидродинамической неустойчивости типа неустойчивости Кельвина–Гельмгольца, вызванной течением плазмы вдоль поверхности пластины. Предложено описание кремниевого расплава с помощью уравнений магнитной гидродинамики для идеальной несжимаемой жидкости. Для анализа стабильности системы плазма–расплав использована линейная теория устойчивости, адаптированная для случая изменяющейся со временем глубины расплавленного слоя. Получено аналитическое выражение, которое связывает период модулированной поверхности пластины с величинами, характеризующими течение плазмы.Formation of periodic submicron structures on the surface of silicon wafer under the action of compression plasma flow is considered to be a manifestation of Kelvin–Helmholtz hydrodynamic instability caused by the plasma flows along the melt free surface. The melt flow is described with the help of motion equations for an ideal non-compressible conducting medium. Linear stability theory modified to include the time-dependent melt depth is employed to analyze stability of plasma-melt system. The expression, which relates the modulated surface period and plasma parameters, is obtained.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31284
Appears in Collections:№4 (20)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kvasov_Periodic.pdf353,72 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.