https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31512| Title: | Влияние процесса оплавления легкоплавких стекол на их зарядовые свойства и перераспределение примеси в ионно-легированных слоях |
| Other Titles: | Influence of melting process of the easily molten glasses on their charge properties and impurity redistribution in the ion-doped layers |
| Authors: | Вечер, Д. В. Пилипенко, В. А. Горушко, В. А. Сякерский, В. С. Петлицкая, Т. В. |
| Keywords: | доклады БГУИР;быстрая термообработка;планаризация рельефа;фосфоро- и борофосфо-росиликатное стекло;интегральная схема |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Влияние процесса оплавления легкоплавких стекол на их зарядовые свойства и перераспределение примеси в ионно-легированных слоях / Д. В. Вечер и другие // Доклады БГУИР. - 2008. - № 1 (31). - С. 98 - 102. |
| Abstract: | Представлены результаты по влиянию процесса оплавления легкоплавких стекол методом быстрой термической обработки (БТО) на их зарядовые свойства и перераспределение примеси в ранее сформированных ионно-легированных слоях. Приведены данные по распределению объемной плотности заряда по толщине пленок фосфоросиликатного (ФСС) и борофосфоросиликатного (БФСС) стекол, а также зависимости поверхностного сопротивления и глубины залегания p−n–перехода от режима оплавления. Рассмотрены проблемы построения измерительной аппаратуры для проверки тепловизионных приборов. Описаны конструкция, характеристики, а также используемые тест-объекты и методы проверки тепловизионных приборов с помощью разработанного стенда. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31512 |
| Appears in Collections: | №1 (31) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Vecher_Influence.pdf | 623.02 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.