Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31512
Title: Влияние процесса оплавления легкоплавких стекол на их зарядовые свойства и перераспределение примеси в ионно-легированных слоях
Other Titles: Influence of melting process of the easily molten glasses on their charge properties and impurity redistribution in the ion-doped layers
Authors: Вечер, Д. В.
Пилипенко, В. А.
Горушко, В. А.
Сякерский, В. С.
Петлицкая, Т. В.
Keywords: доклады БГУИР
быстрая термообработка
планаризация рельефа
фосфоро- и борофосфо-росиликатное стекло
интегральная схема
Issue Date: 2008
Publisher: БГУИР
Citation: Влияние процесса оплавления легкоплавких стекол на их зарядовые свойства и перераспределение примеси в ионно-легированных слоях / Д. В. Вечер и другие // Доклады БГУИР. - 2008. - № 1 (31). - С. 98 - 102.
Abstract: Представлены результаты по влиянию процесса оплавления легкоплавких стекол методом быстрой термической обработки (БТО) на их зарядовые свойства и перераспределение примеси в ранее сформированных ионно-легированных слоях. Приведены данные по распределению объемной плотности заряда по толщине пленок фосфоросиликатного (ФСС) и борофосфоросиликатного (БФСС) стекол, а также зависимости поверхностного сопротивления и глубины залегания p−n–перехода от режима оплавления. Рассмотрены проблемы построения измерительной аппаратуры для проверки тепловизионных приборов. Описаны конструкция, характеристики, а также используемые тест-объекты и методы проверки тепловизионных приборов с помощью разработанного стенда.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31512
Appears in Collections:№1 (31)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Vecher_Influence.pdf623.02 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.