Упрочняющие композитные покрытия из столбиково-матричных наноструктур анодных оксидов алюминия и Тантала

Abstract

Уникальные плоские анодные оксидные пленки с колонно-матричными наноструктурами были сформированы вакуумным осаждением и электрохимическим анодированием слоев алюминия и тантала. Исследовались морфологические, структурные и микромеханические свойства. Было обнаружено, что полученные наноструктуры состоят из сплошного слоя анодного оксида тантала, расположенного под пористым анодным оксидом алюминия с порами, заполненными колоннами тантала. Было показано, что можно выбрать такие режимы вакуумного осаждения и электрохимического анодирования, в которых столбцы полностью заполняют поры анодного оксида алюминия, образуя плоскую наноструктуру. Микромеханические свойства композитных пленок характеризовались высокими характеристиками твердости.