Столбиково-матричные наноструктуры из анодных оксидов алюминия и тантала: получение и свойства

Abstract

Методом электрохимического анодирования слоев тонкопленочной системы алюминия и тантала сформированы уникальные планарные анодно-оксидные пленки со столбиково-матричной наноструктурой. Исследованы их морфологические, структурные, электрофизические и микромеханические свойства. Установлено, что полученные наноструктуры состоят из сплошного слоя анодного оксида тантала (ЛОТ), расположенного под анодным оксидом ачюминия (АОА), поры которого заполнены оксидными танталовыми столбиками. Показано, что можно подобрать такие режимы напыления и электрохимической обработки, при которых столбики будут полностью заполнять поры АО А, образуя планарную наноструктуру. Выявлены высокодобротные диэлектрические характеристики столбиково-матричных наноструктур в диапазоне частот до — / МГц. Установлено, что исследуемые пленки обладают высокими трибологическими и механическими характеристиками, и могут быть использованы в качестве упрочняющих покрытий изделий, подверженных ускоренному износу.