| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Черных, А. Г. | - |
| dc.contributor.author | Павлюковец, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Смирнов, А. Г. | - |
| dc.contributor.author | Ригольд, С. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-06-06T13:18:29Z | - |
| dc.date.available | 2018-06-06T13:18:29Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.citation | Структурные и электрофизические свойства бинарных и тройных сплавов алюминия для металлизации микродисплеев типа LED-ON-SILICON = Structural and electrophysical properties of aluminium binary and ternary alloys for metallization of LED-ON-SILICON microdisplays / А. Г. Смирнов [и др.] // Доклады БГУИР. – 2008. – № 5 (35). – С. 97–103. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31807 | - |
| dc.description.abstract | Исследованы и объяснены закономерности, связывающие условия формирования тонких пленок А1+0,8%Но, Al+0,8%Ho+l%Si, Al+l%Si, Al+l,5%Si, Al+l,5%Si+4%Cu (% по массе) при магнетронном распылении со структурой пленок, устойчивостью их при термообработках, профилем распределения легирующей примеси, электросопротивлением, качеством перекрытия ступенчатого рельефа поверхности. Показано, что пленки тройного сплава Al+0,8%Ho+l%Si при заданных температурных режимах осаждения и отжига обладают наилучшим сочетанием электрических, морфологических свойств и могут быть использованы в качестве металлизации микродисплеев типа LED-ON-SILICON. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | металлизация ИС | ru_RU |
| dc.subject | сплавы алюминия | ru_RU |
| dc.subject | редкоземельные металлы | ru_RU |
| dc.subject | микродисплейные устройства | ru_RU |
| dc.subject | структурные и электрофизические свойства | ru_RU |
| dc.title | Структурные и электрофизические свойства бинарных и тройных сплавов алюминия для металлизации микродисплеев типа LED-ON-SILICON | ru_RU |
| dc.title.alternative | Structural and electrophysical properties of aluminium binary and ternary alloys for metallization of LED-ON-SILICON microdisplays | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| local.description.annotation | Structural and electrophysical properties of magnetron sputtered binary and ternary alloys
Al+0,8%Ho, Al+0,8%Ho+l%Si, Al+l% Si, Al+l,5% 5i and Al+l,5% Si+4%Cu were studied and explained. It was observed that ternary alloys Al+0,8%Ho+l%Si fabricated and annealed at special temperature regimes are characterized by the best combination of electrical and morphological features
and can be used as metallization of modem LED-ON-SILICON microdisplays. | - |
| Appears in Collections: | №5 (35)
|
