https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31881| Title: | Активные элементы МЭМС на основе анодного оксида алюминия |
| Authors: | Биран, С. А. Короткевич, Д. А. Короткевич, А. В. |
| Keywords: | материалы конференций;микроэлектромеханические системы;анодный оксид алюминия |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Биран, С. А. Активные элементы МЭМС на основе анодного оксида алюминия / С. А. Биран, Д. А. Короткевич, А. В. Короткевич // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХVI Белорусско-российской научно – технической конференции, Минск, 5 июня 2018 г. – Минск: БГУИР, 2017. – С. 21. |
| Abstract: | Устройства на базе микроэлектромеханических систем (МЭМС) широко используются в промышленной электронике, медицине, военной и космической технике. Их функциональные характеристики определяются механическими свойствами материала, на основе которых они сформированы. В настоящее время основным материалом в МЭМС технологии является кремний и его модификации из-за хороших физических и механических свойств. Однако, использование кремния связано с высокотемпературными процессами (500–1200 єС), что снижает его физико-механические свойства и вызывает в нем высокие механические напряжения, кроме того не всегда можно получить требуемую геометрию элемента. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31881 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2018 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Biran_Aktivnyye.pdf | 194.11 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.