| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Гомза, Е. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-07-25T12:22:55Z | - |
| dc.date.available | 2018-07-25T12:22:55Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Гомза, Е. С. Автоматизация технологического процесса производства окисных пленок в микроэлектронике / Е. С. Гомза // Информационные технологии и управление : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2018. – С. 52. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32607 | - |
| dc.description.abstract | Рассматривается определение режимов диффузии на основании заданных параметров распределения примеси. Диффузия ведется из предварительно созданного с помощью ионной имплантации слоя с ограниченным содержанием примеси. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | оксидные пленки | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.title | Автоматизация технологического процесса производства окисных пленок в микроэлектронике | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и управление : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
